Wafer Fab Boom: Khoảng cách trong các thành phần khí nén bán dẫn địa phương rộng đến mức nào?

June 29, 2026

Khi các dây chuyền sản xuất tấm wafer 12 inch trong nước bước vào giai đoạn vận hành dày đặc, các bộ phận khí nén cao cấp dành cho sản xuất chất bán dẫn đang phải đối mặt với nhu cầu bùng nổ và trở thành chiến trường cốt lõi cho những đột phá nội địa hóa. Dữ liệu ngành cho thấy thị trường van khí nén bán dẫn của Trung Quốc dự kiến ​​sẽ đạt 5,61 tỷ nhân dân tệ vào năm 2026, tăng 18,7% so với cùng kỳ năm ngoái, duy trì đà tăng trưởng mạnh mẽ. Ở các nút quy trình trưởng thành, sự thay thế trong nước đã bước vào giai đoạn áp dụng đại trà, nhưng khoảng cách công nghệ trong các quy trình tiên tiến vẫn còn rõ ràng.

Wafer Fab Boom: Khoảng cách trong các thành phần khí nén bán dẫn địa phương rộng đến mức nào?


Tiến trình thay thế cho thấy sự khác biệt rõ ràng. Trong các liên kết làm sạch ướt và phân phối hóa chất của dây chuyền quy trình 28nm trở lên, van sáu chiều khí nén trong nước chiếm 41,2% công suất lắp đặt. Tỷ lệ nội địa hóa tổng thể của van khí nén chân không siêu cao trong các quy trình hoàn thiện đã vượt quá 50%, với tỷ lệ rò rỉ của các sản phẩm hàng đầu trong nước đạt 10⁻⁹ Pa·m³/s, về cơ bản phù hợp với tiêu chuẩn quốc tế. Các nhà sản xuất thiết bị trong nước đã nâng mục tiêu nội địa hóa van cho các mẫu máy mới lên hơn 65% và nhu cầu tự chủ chuỗi cung ứng tiếp tục thúc đẩy các linh kiện trong nước đẩy nhanh quá trình xác minh và áp dụng.

Wafer Fab Boom: Khoảng cách trong các thành phần khí nén bán dẫn địa phương rộng đến mức nào?


Tuy nhiên, không thể bỏ qua những khoảng trống. Trong các quy trình tiên tiến từ 14nm trở xuống, tỷ lệ nội địa hóa của các bộ phận khí nén quy trình cốt lõi chỉ khoảng 22% và các danh mục chính như van kín kim loại chân không siêu cao và van xử lý chống ăn mòn có độ tinh khiết cao vẫn phụ thuộc nhiều vào nhập khẩu. Có sự thiếu hụt về cấu trúc của các vật liệu cốt lõi ở thượng nguồn như cao su perfluoroether và các hợp kim đặc biệt. Vẫn còn tồn tại những khoảng cách về độ ổn định lâu dài và độ sạch nhất quán của sản phẩm so với các thương hiệu quốc tế. Cùng với các rào cản như chứng nhận SEMI và chu kỳ xác minh dây chuyền sản xuất dài, việc thay thế hoàn toàn sẽ vẫn mất thời gian. Giữa không gian thị trường khổng lồ do mở rộng công suất mang lại và các rào cản kỹ thuật ở vùng nước sâu, bước đột phá nội địa hóa của các bộ phận khí nén bán dẫn đang trong giai đoạn leo thang quan trọng từ “có thể sử dụng được” lên “đáng tin cậy”.